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一种钽-碳化钽复合涂层的制备方法及其制品 

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申请/专利权人:厦门中材航特科技有限公司

摘要:本发明涉及一种钽‑碳化钽复合涂层制品及制备方法,利用化学气相沉积方法将无机钽卤化物气化后与氢气、烯烃在基材表面形成钽‑碳化钽复合涂层。本发明可使基材有效获得优良的抗腐蚀、抗摩擦性能,同时具有能够有效控制基材中杂质成分外溢,改善表面光洁度,提高产品美观度的效果,并且实现了工业规模化生产。

主权项:1.一种钽-碳化钽复合涂层的制备方法,通过化学气相沉积法在基材上形成钽-碳化钽复合涂层,其特征在于,包括以下步骤:①加热步骤:将基材置于CVD的反应室中,对反应室抽真空,进行加热,所述加热温度为800~1100℃;②钽涂层沉积步骤:在加热步骤之后,将五氯化钽或五氟化钽气化后,与氢气通入反应室,在3000Pa到6000Pa气压,反应温度800~1100℃下保持,在基材表面沉积钽涂层;③降温步骤:停止通入反应气,进行降温,温度降到550~750℃时开始保温;④碳化钽涂层沉积步骤:将五氯化钽或五氟化钽气体、混合烯烃以及氢气混合气体通入反应室,在5000Pa到10000Pa气压、反应温度550~750℃下,在钽涂层表面沉积碳化钽涂层,制得钽-碳化钽复合涂层材料;所述混合烯烃是乙烯与丙烯的混合;所述五氯化钽或五氟化钽气体与氢气的体积比例为1:1~2.5;所述五氯化钽或五氟化钽气体与混合烯烃的体积比例为1:1~2;所述混合烯烃中乙烯与丙烯的体积比例为1:1~2;⑤冷却步骤:在上述步骤之后,将所述的钽-碳化钽涂层制品冷却到常温。

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权利要求:

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