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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆暂存装置和晶圆清洗方法，晶圆暂存装置包括：箱体，箱体包括：箱主体和门组件，箱主体形成有暂存腔和第一出入口，门组件包括：门框和门体，门框与箱主体固定且密封连接，门体布置在门框的朝向箱主体的一侧，驱动机构，驱动机构与门体相连；喷液机构，喷液机构设于箱体且具有朝向晶圆设置的第一喷孔，防漏结构被配置为将门组件与箱主体之间的间隙内液体导回暂存腔。根据本发明的晶圆暂存装置，可以冲洗掉晶圆表面残留的拋光液，减少晶圆表面的抛光液结晶，使晶圆表面保持湿润状态，防漏结构可以将门组件与箱主体之间的间隙内液体导回暂存腔，避免液体经门组件与箱主体之间的间隙位置流到箱体外侧，提升箱体的密封防漏性能。
主权项：1.一种晶圆暂存装置，其特征在于，包括：箱体，所述箱体包括：箱主体和门组件，所述箱主体限定出用于暂存晶圆的暂存腔，所述箱主体在第一方向上的一侧形成有与所述暂存腔连通的第一出入口，所述门组件与所述箱主体相连用于打开和关闭所述第一出入口；喷液机构，所述喷液机构设于所述箱体，所述喷液机构具有第一喷孔，所述第一喷孔被配置为朝向所述晶圆设置，用于喷淋所述晶圆的表面；防漏结构，所述防漏结构设于所述箱主体和或所述门组件上，所述防漏结构被配置为将所述门组件与所述箱主体之间的间隙内液体导回所述暂存腔；所述门组件包括：门框和门体，所述门框与所述箱主体固定且密封连接，所述门体可活动地设于所述门框上以打开和关闭所述第一出入口；驱动机构，所述驱动机构与所述门体相连，用于驱动所述门体相对于所述门框沿第二方向在打开位置和关闭位置之间移动，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述门体布置在所述门框的朝向所述箱主体的一侧，所述门框上形成有第二出入口，所述门体在打开位置时，所述第一出入口和所述第二出入口相对且连通，所述门体在关闭位置时，所述门体封堵在所述第一出入口和所述第二出入口之间。
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