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申请/专利权人:北京自动化控制设备研究所
摘要:本发明公开了一种光纤陀螺用一体化集成光学器件,所述集成光学器件包括:发光模块和片上多功能模块,采用直接耦合技术实现连接,所述的发光模块包括光束整形器、光隔离器、发光芯片、热敏电阻;所述的片上多功能模块包括片上耦合波导、起偏偏振波导、分束合束波导、模式滤除波导、调制电极、探测芯片、信号放大电路;所述片上多功能模块基于同一基材实现,基材基本结构包括芯片层和外部粘接层,所述芯片层主要集成了耦合波导、起偏波导、分束合束波导、模式滤除波导和调制电极。本发明将传统技术方案中光纤陀螺需要的4个分立光学器件集成为1个器件,在原有功能不变的基础上,大幅缩减器件体积。
主权项:1.一种光纤陀螺用一体化集成光学器件,其特征在于,所述集成光学器件包括:发光模块和片上多功能模块,采用直接耦合技术实现连接,所述的发光模块包括光束整形器、光隔离器、发光芯片、热敏电阻,具有发光、隔离功能,所述的片上多功能模块包括片上耦合波导、起偏偏振波导、分束合束波导、模式滤除波导、调制电极、探测芯片、信号放大电路,其中,片上耦合波导包括光接收耦合波导和探测耦合波导,具有分束、合束、起偏、偏振、模式滤除、相位调制、信号转换功能;所述片上多功能模块基于同一基材实现,基材基本结构包括芯片层和外部粘接层,所述芯片层主要集成了耦合波导、起偏波导、分束合束波导、模式滤除波导和调制电极,所述调制电极通过在芯层上沉积金属结构实现,所述探测芯片以贴片方式放置在探测耦合波导上方,信号放大电路通过粘接的方式位于芯片层之上,与芯片层内部的光传输无连通,探测芯片与信号放大电路之间通过金丝引线实现连接;所述光学器件采用多层封装结构,器件外部为金属封装,内部共有三部分组成,第一部分为集成光学芯片层,包括发光模块和片上多功能模块,所述片上多功能模块包括芯片主体(B10)、探测芯片(B2)、信号放大电路(B1);第二部分为保障器件正常工作的结构层,包括芯片垫片(C1)、过渡热沉(C2)、热沉(C3)、半导体双向制冷器(C4);第三部分为对外输出和固定的基底层(D1);器件的封装结构自下而上依次为第三部分、第二部分、第一部分,第一部分中的发光模块各器件直接焊接或粘接在过渡热沉(C2)上,片上多功能模块的芯片主体由光刻工艺制造而成,探测芯片(B2)以贴片形式与芯片主体连接在一起,信号放大电路(B1)粘接在芯片主体(B10)上方,片上多功能模块粘接固定在芯片垫片C1上,垫片直接固定在基底层(D1)上,过渡热沉(C2)固定在热沉(C3)上,热沉(C3)固定在半导体双向制冷器(C4)上,再固定在基底层(D1)上。
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