龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳平晨半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆角度调整机构，包括：基座、晶圆座、第一驱动单元、第一传动单元、晶圆夹紧组件；晶圆座与基座转动连接，晶圆座在基座上转动；晶圆夹紧组件安装在晶圆座的一侧，晶圆夹紧组件用于夹紧晶圆；第一驱动单元驱动第一传动单元转动并带动晶圆座转动。本技术中，晶圆设置在晶圆座上，第一驱动单元安装在晶圆座上且第一驱动单元与第一传动单元配合连接，第一驱动单元驱动第一传动单元转动并带动晶圆座转动，可以实现对晶圆座上的晶圆的角度进行精准调节及控制，通过设置晶圆夹紧组件，可以实现对晶圆的有效夹紧，避免出现转动过程中晶圆发生偏移，有效保证了固晶精度。
主权项：1.一种半导体晶圆角度调整机构，其特征在于，包括：基座、晶圆座、第一驱动单元、第一传动单元、晶圆夹紧组件；晶圆座与基座转动连接，晶圆座在基座上转动，晶圆安装在晶圆座上；晶圆夹紧组件安装在晶圆座的一侧，晶圆夹紧组件用于夹紧晶圆；第一驱动单元安装在晶圆座上且第一驱动单元与第一传动单元配合连接，第一驱动单元驱动第一传动单元转动并带动晶圆座转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳平晨半导体科技有限公司 一种半导体晶圆角度调整机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号