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利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长装置 

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申请/专利权人:三嵩(天津)光电科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长装置,属于晶体生长技术领域。所述掺杂蓝宝石生长装置包括:坩埚,所述坩埚内放置有蓝宝石原料和蓝宝石籽晶;保温装置,所述保温装置设置有用于容纳坩埚的保温腔;主加热器,所述主加热器配置成位于保温腔的内部并产生热辐射通过热对流的方式把坩埚内的掺杂氧化铝原料融化变成熔体;导热板,所述导热板设置成穿过保温装置的底部并且导热板的上端接触坩埚的底部;副加热器,所述副加热器设置在保温装置的下部中并围绕导热板;冷却杆,所述冷却杆的上端与导热板的下端固定连接;升降机构,所述升降机构的内部容纳冷却杆,并且升降机构与冷却杆固定连接,驱动冷却杆和导热板上下移动。

主权项:1.一种利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长装置,所述掺杂蓝宝石生长装置包括坩埚,所述坩埚内放置有蓝宝石原料和蓝宝石籽晶,其特征在于,所述掺杂蓝宝石生长装置还包括:保温装置,所述保温装置设置有用于容纳坩埚的保温腔;主加热器,所述主加热器配置成位于保温腔的内部并产生热辐射通过热对流的方式把坩埚内的掺杂氧化铝原料融化变成熔体;导热板,所述导热板设置成穿过保温装置的底部并且导热板的上端接触坩埚的底部;副加热器,所述副加热器设置在保温装置的下部中并围绕导热板;冷却杆,所述冷却杆的上端与导热板的下端固定连接;升降机构,所述升降机构的内部容纳冷却杆,并且升降机构与冷却杆固定连接,驱动冷却杆和导热板上下移动。

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权利要求:

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