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申请/专利权人：凯斯科技股份有限公司
摘要：包括万向节结构体的基板载体，包括：头部外壳；膜，其位于头部外部的下侧，形成多个腔室；以及万向节结构体，其位于头部外壳及膜之间，可进行万向节驱动，万向节结构体可包括：轴，其上部固定于头部外壳，下部形成有凸缘；基座，其位于轴的下侧，形成有第一凹陷空间，凸缘位于第一凹陷空间；以及第一弹性垫圈，其以位于凸缘和基座之间的形式位于第一凹陷空间。
主权项：1.一种基板载体，其特征在于，包括：头部外壳；膜，其位于头部外部的下侧，形成多个腔室；以及万向节结构体，其位于头部外壳及膜之间，可进行万向节驱动，万向节结构体包括：轴，其上部固定于头部外壳，下部形成有凸缘；基座，其位于轴的下侧，形成有第一凹陷空间，凸缘位于第一凹陷空间；以及第一弹性垫圈，其以位于凸缘和基座之间的形式位于第一凹陷空间。
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权利要求：
百度查询： 凯斯科技股份有限公司 包括万向节结构体的基板载体以及包括该基板载体的基板研磨装置
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