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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种降低多线切割机金刚线断线率的方法，涉及多线切割机的技术领域，在切割前，在待切割晶锭的底部粘接导向件，通过预定金刚线速度曲线进行晶锭切割；在切割时，金刚线先按照预定位置进入导向件内，防止金刚线因受阻力大发生滑移，一方面防止金刚线入刀位置产生偏差导致硅片入刀翘曲，另一方面通过导向条降低金刚线的振动，使得金刚线从导向条进入晶锭时相对位置被固定，金刚线与晶锭进行点点接触，减少接触面积，避免产生线弓，进而金刚线张力变化小，金刚线断线率降低。
主权项：1.一种降低多线切割机金刚线断线率的方法，其特征在于，在切割前，在待切割晶锭的底部粘接导向件，通过预定金刚线速度曲线进行晶锭切割，以通过导向件及低入刀金刚线速度使得金刚线振动小，金刚线入刀位置被相对固定，金刚线张力减小，进而金刚线断线率降低。
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