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申请/专利权人：西安航天动力研究所;西安交通大学
摘要：本发明公开了一种梳齿电容式压力传感器，属于容式压力传感器技术领域，包括压力敏感膜片、动齿电容、定齿电容和基体；所述基体下开设有腔体，腔体顶面为压力敏感膜片，所述压力敏感膜片上设置有动齿电容和定齿电容；所述动齿电容包括支撑块和动悬臂梁结构，所述动悬臂梁结构与压力敏感膜片通过支撑块连接，所述动悬臂梁结构上设置有若干间隔设置的动梳齿电容极板；所述定齿电容包括固定支撑板和定悬臂梁结构，所述定悬臂梁结构通过固定支撑板连接于腔体侧壁上方，所述定悬臂梁结构上设置有若干间隔设置的动梳齿电容极板；所述动梳齿电容极板和定梳齿电容极板交错布置。解决了现有技术中存在的电容式压力传感器线性度差，灵敏度低的问题。
主权项：1.一种梳齿电容式压力传感器，其特征在于：包括压力敏感膜片1、动齿电容2、定齿电容3和基体5；所述基体5背面开设有腔体6，所述腔体6顶面为压力敏感膜片1，所述压力敏感膜片1上设置有动齿电容2和定齿电容3；所述动齿电容2包括支撑块21和动悬臂梁结构，所述动悬臂梁结构与压力敏感膜片1通过支撑块21连接，所述动悬臂梁结构上设置有若干间隔设置的动梳齿电容极板23；所述定齿电容3包括固定支撑板31和定悬臂梁结构，所述定悬臂梁结构通过固定支撑板31连接于腔体6侧壁上端，所述定悬臂梁结构上设置有若干间隔设置的动梳齿电容极板23；所述动梳齿电容极板23和定梳齿电容极板33交错布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航天动力研究所 西安交通大学 一种梳齿电容式压力传感器
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