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申请/专利权人：惠州芯美特科技有限公司
摘要：本发明属于电镀技术领域，特别涉及一种脉冲电镀溶铜装置及溶铜工艺。所述脉冲电镀溶铜装置包括反应釜、溶铜槽以及电镀槽，所述反应釜内用于输入O2和H2SO4，所述反应釜与所述溶铜槽连通，所述溶铜槽内设置有纯铜，所述溶铜槽与所述电镀槽连通，所述电镀槽与所述反应釜连通。通过设置反应釜、溶铜槽以及电镀槽，利用反应釜内的O2和H2SO4，可以利用化学反应增加电镀液内铜离子的含量，有利于提高后续电镀的品质。相对ATO的溶铜槽，不需要配备电解装置和更换不溶性电极，有利于节约能源、实现环保。
主权项：1.一种脉冲电镀溶铜装置，其特征在于，包括反应釜3、溶铜槽4以及电镀槽5，所述反应釜3内用于输入O2和H2SO4，所述反应釜3与所述溶铜槽4连通，所述溶铜槽4内设置有纯铜，所述溶铜槽4与所述电镀槽5连通，所述电镀槽5与所述反应釜3连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 惠州芯美特科技有限公司 一种脉冲电镀溶铜装置及溶铜工艺
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