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申请/专利权人：光科真空科技(泰兴)有限公司
摘要：本发明涉及单晶炉清理装置相关领域，尤其涉及一种用于清理单晶炉圆筒式上炉室的装置，包括外连接外部升降设备的支撑固定架、循环摆动机构和刮扫机构，循环摆动机构安装于支撑固定架上，循环摆动机构底部连接刮扫机构；本发明通过设置了循环摆动机构，在第一电机带动下，转动柄转动同步带动摆动架摆动，并配合侧固定架的固定支撑，使摆动杆摆动，同步的带动底部刮扫机构，由刮扫机构循环摆动可以有效的对单晶炉上炉室内壁进行刮扫工作，使单晶炉上炉室内壁清理更为彻底，也提高了清理效率。
主权项：1.一种用于清理单晶炉圆筒式上炉室的装置，包括连接外部升降设备的支撑固定架（1），其特征在于：还包括循环摆动机构（2）和刮扫机构（3），所述循环摆动机构（2）安装于支撑固定架（1）上，所述循环摆动机构（2）底部连接刮扫机构（3）；所述循环摆动机构（2）包括第一电机（21）、侧固定架（22）、连接杆（23）、转动柄（24）、球形接头（25）、摆动架（26）和摆动杆（27），所述支撑固定架（1）两侧分别安装有一侧固定架（22），且两条侧固定架（22）底部由连接杆（23）连接，所述第一电机（21）安装于支撑固定架（1）上，第一电机（21）底部输出端上连接有转动柄（24），所述转动柄（24）中部孔槽内活动连接有球形接头（25），所述球形接头（25）底部连接两条摆动架（26），两条所述摆动架（26）底部由摆动杆（27）连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科真空科技(泰兴)有限公司 一种用于清理单晶炉圆筒式上炉室的装置
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