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基于液氦ISO储罐的氦气供应系统 

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申请/专利权人:盛联精密气体(上海)有限公司

摘要:本发明公开了一种基于液氦ISO储罐的氦气供应系统。该氦气供应系统包括ISO储罐系统;ISO储罐系统又包括ISO储罐以及与ISO储罐连接的自增压单元。其中,ISO储罐适于储存液氦;自增压单元适于将ISO储罐内的液氦引出并使其增压气化后反注回ISO储罐,以增强ISO储罐内的压力,从而使ISO储罐内的液氦被顺利供出。

主权项:1.一种基于液氦ISO储罐的氦气供应系统,其特征在于:包括ISO储罐系统;所述ISO储罐系统包括ISO储罐2.1以及与所述ISO储罐2.1连接的自增压单元;所述ISO储罐2.1适于储存液氦;所述自增压单元适于将所述ISO储罐2.1内的液氦引出并使之增压气化为气氦后反注回所述ISO储罐2.1,以增强所述ISO储罐2.1内的压力而使所述ISO储罐2.1内的液氦被顺利供出。

全文数据:

权利要求:

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