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申请/专利权人：浙江芯秦微电子科技有限公司
摘要：本发明涉及本发明提供了一种聚酰亚胺膜PI膜剥离液的制备方法及其应用。本发明提供的聚酰亚胺膜剥离液，按质量分数计，包括以下组分：有机碱17～48％、有机溶剂20～55％、表面活性剂0～5％。本发明弥补了晶圆表面PI膜剥离液研究的空白，通过有机碱、醇胺类化合物与表面活性剂复配，能够有效降低PI膜的剥离时间，在10min内即可实现对PI膜的完全剥离。此外本发明提供的剥离液环境友好，性能优异可回收循环利用。
主权项：1.一种聚酰亚胺膜剥离液，按质量分数计，包括以下组分：有机碱17～48％、有机溶剂20～55％、表面活性剂0～5％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江芯秦微电子科技有限公司 一种聚酰亚胺膜剥离液制备方法及其应用
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