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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：公开了一种用于处理衬底的末端执行器，包括底座；夹持本体，包括致动器，该致动器被配置为在第一位置和第二位置之间切换，在该第一位置中，衬底相对于夹持本体固定就位，而在该第二位置中，衬底被释放；引导机构，将夹持本体连接到底座，同时允许夹持本体相对于底座在预定运动范围内自由移动；以及固定机构，用于在固定位置和自由位置之间切换夹持本体和底座之间的连接，在该固定位置中，夹持本体相对于底座固定，而在该自由位置中，夹持本体能够相对于底座移动。
主权项：1.一种用于处理衬底的末端执行器，包括：底座；夹持本体，包括致动器，所述致动器被配置为在第一位置和第二位置之间切换，在所述第一位置中，所述衬底相对于所述夹持本体固定就位，而在所述第二位置中，所述衬底被释放；引导机构，将所述夹持本体连接到所述底座，同时允许所述夹持本体相对于所述底座在预定运动范围内自由移动；以及固定机构，用于在固定位置和自由位置之间切换所述夹持本体和所述底座之间的连接，在所述固定位置中，所述夹持本体相对于所述底座被固定，而在所述自由位置中，所述夹持本体能够相对于所述底座移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 末端执行器和衬底处理方法
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