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申请/专利权人：栗田工业株式会社
摘要：本发明提供一种能够稳定地制造目标TOC水质的处理水的TOC处理装置和处理方法。TOC处理装置构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置2和去离子装置4，其特征在于，具有：流量计，测量紫外线氧化装置2的流量；TOC计6，测量去离子装置4的流出水的TOC浓度；以及控制装置7，被输入流量计的测量值和TOC计4的测量值，并基于这些测量值控制紫外线氧化装置2的紫外线照射量。
主权项：1.一种TOC处理装置，是超纯水制造用一次纯水系统或子系统中的TOC处理装置，其构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置和在所述紫外线氧化装置的后段的去离子装置，其特征在于，具有：流量计，测量该紫外线氧化装置的被处理水流量；TOC计，测量该去离子装置的流出水的TOC浓度；以及控制机构，被输入该流量计的测量值和该TOC计的测量值，并基于这些测量值控制所述紫外线氧化装置的紫外线照射量，所述控制机构以使所述流量计的测量值与所述TOC计的测量值的乘积和所述流量计的测量值与目标TOC值的乘积的差，或将所述TOC计的测量值与目标TOC值的差乘以所述流量计的测量值所得的值趋于0的方式，控制所述紫外线照射量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 栗田工业株式会社 TOC处理装置和处理方法
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