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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明涉及一种近端探针热脱附系统及其脱附方法，热脱附系统包括真空获得系统、温度控制系统、探针控制系统、信号检测系统和标定系统，脱附方法是利用探针接触被测固体材料表面，探针加载脉冲电压引发材料局域瞬时高温，使材料表面的气态杂质发生热脱附，释放到样品室中被质谱仪收集检测，通过探针在材料表面的二维移动可获得被测信号沿表面的分布信息，同时保证材料表面近似无损。探针在材料表面某一个微区加热，得到脱附信号随时间变化的曲线，通过对该曲线积分得到被测微区中的脱附量，若气态杂质分布沿材料表面不均匀分布，那么在不同的区域探针可以得到不同的脱附量信息，也就可以得到该气态杂质浓度沿表面的分布信息。
主权项：1.一种近端探针热脱附系统，其特征在于，包括真空获得系统、温度控制系统、探针控制系统、信号检测系统和标定系统，该系统可实现空间分辨率优于500微米和氘浓度检测限不低于10-4原子比，真空获得系统中的分子泵和连接在样品室底部，样品室顶部连接有真空获得系统的高精度真空规；探针控制系统通过样品室右侧的法兰接口与样品室相连，用于控制和操作近端探针的位置和运动；温度控制系统包括红外热像仪和脉冲电源，独立放置在样品室外部，脉冲电源通过样品室侧壁预留的电路连接口与集成在探针控制系统上的大功率线缆构成闭合回路，以实现对样品温度的精确控制；信号检测系统中的四极质谱仪通过法兰连接在样品室上，用于收集检测信号；红外热像仪和四级质谱仪将采集到的信号通过数据传输线传输到计算机进行处理；标准漏孔通过气路连接口连接在样品室，构成了标定系统；样品室内部装有铜制样品台，样品台正上方设有石英观察窗口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种近端探针热脱附系统及其脱附方法
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