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申请/专利权人：平田机工株式会社

摘要：基板搬运系统1具备被规定搬运基板的范围的搬运部2、载置基板的第一载置部3及第二载置部4、设置在搬运部的内部并将基板从第一载置部向第二载置部搬运的移载机器人5，移载机器人具备配置在搬运部内的主体部51、连结于主体部的回旋支承部52、连结于回旋支承部的臂支承部53、连结于臂支承部的臂部54、连结于臂部的保持部55，回旋支承部具备能够旋转地连结于主体部的第一端部52a、供臂支承部能够旋转地连结的第二端部52b，回旋支承部以与主体部连结的连结部为旋转轴旋转，臂部被连结成以与臂支承部连结的连结部为旋转轴在俯视观察下能够旋转，移载机器人以支承于主体部的回旋支承部的中心部位于搬运部的范围的中央部的方式配置主体部。

主权项：1.一种基板搬运系统，其中，所述基板搬运系统具备：搬运部，其被规定了搬运基板的范围；第一载置部及第二载置部，其载置所述基板；及移载机器人，其设置在所述搬运部的内部，将所述基板从所述第一载置部向所述第二载置部搬运，所述搬运部的范围在第一方向上设定为能够将多个所述第一载置部及所述第二载置部排列配置的规定的第一长度，在与所述第一方向正交的第二方向上设定为比所述第一长度短的第二长度，所述移载机器人具备：主体部，其配置在所述搬运部内；回旋支承部，其连结于所述主体部；臂支承部，其连结于所述回旋支承部；臂部，其连结于所述臂支承部；及保持部，其连结于所述臂部，保持所述基板，所述回旋支承部具备：第一端部，其能够旋转地连结于所述主体部；及第二端部，所述臂支承部能够旋转地连结于该第二端部，所述臂部具备连结于所述臂支承部的第一臂和供所述保持部连结的第二臂，所述回旋支承部被连结成在俯视观察下能够以与所述主体部连结的连结部为旋转轴旋转，所述臂支承部被连结成在俯视观察下能够以与所述回旋支承部连结的连结部为旋转轴旋转，所述臂支承部相对于所述回旋支承部的所述第二端部的旋转的中心线与所述臂部相对于所述臂支承部的旋转的中心线设定在同一线上，所述臂部被连结成在俯视观察下能够以与所述臂支承部连结的连结部为旋转轴旋转，所述移载机器人以支承于所述主体部的所述回旋支承部的中心部位于所述搬运部的范围的中央部的方式配置所述主体部。

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权利要求：

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