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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文公开的实施方式包括一种用于静电卡盘的圆盘。在一个实施方式中，圆盘包含具有顶表面及底表面的基板。在一个实施方式中，第一材料成分在基板的顶表面处，并且第二材料成分在基板的底表面处。在一个实施方式中，穿过基板在顶表面与底表面之间提供成分梯度。
主权项：1.一种用于静电卡盘的圆盘，包含：基板，所述基板具有顶表面及底表面；第一材料成分，所述第一材料成分在所述基板的所述顶表面处；第二材料成分，所述第二材料成分在所述基板的所述底表面处；以及穿过所述基板在所述顶表面与所述底表面之间的成分梯度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 借助分级材料的陶瓷工程
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