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申请/专利权人：武汉敏声新技术有限公司
摘要：本发明公开一种薄膜体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该薄膜体声波谐振器包括衬底以及依次设置于所述衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，所述底电极层和所述顶电极层分别通过图案化形成底电极图案和顶电极图案，所述底电极图案、所述压电层和所述顶电极图案在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，所述压电层内插入有反射层，沿所述层叠方向所述反射层位于所述压电层的中心。该薄膜体声波谐振器及滤波器通过在压电层内插入反射层，以对输入信号的二阶非线性效应产生相互抑制，从而降低谐振器的二次谐波水平，无需增大谐振器面积，制备方法也更加简单。
主权项：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及依次设置于所述衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，所述底电极层和所述顶电极层分别通过图案化形成底电极图案和顶电极图案，所述底电极图案、所述压电层和所述顶电极图案在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，所述压电层内插入有反射层，沿所述层叠方向所述反射层位于所述压电层的中心。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敏声新技术有限公司 一种薄膜体声波谐振器及滤波器
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