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申请/专利权人：深圳市汇芯通信技术有限公司
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法，该装置包括：载台，包括圆周面和上表面，所述载台上表面设有细微小孔，所述载台内部为中空的；冷却循环系统，设置在载台内部，用于向载台输送冷却液；气体热传导管，设置在载台内部，用于载台与载片盘间的温度传导；抽气管，设置在所述载台的正下方，连接在ICP腔体上，所述抽气管的抽气口位于ICP腔体壁上，所述抽气口所在的平面为抽气口面；顶针，穿过所述载台且外露于所述载台上表面，用于托起载片盘；顶针气缸，位于所述载台的下方与所述抽气口面的上方，用于驱动顶针做升降运动。本发明通过将抽气口设置在载台正下方，从而缩短出气口与抽气口的距离，提高了刻蚀效率。
主权项：1.一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置，其特征在于，包括：载台，包括圆周面和上表面，所述载台上表面设有细微小孔，所述载台内部为中空的；冷却循环系统，设置在载台内部，用于向载台输送冷却液；气体热传导管，设置在载台内部，用于载台与载片盘间的温度传导；抽气管，设置在所述载台的正下方，连接在ICP腔体上，所述抽气管的抽气口位于ICP腔体壁上，所述抽气口所在的平面为抽气口面；顶针，穿过所述载台且外露于所述载台上表面，用于托起载片盘；顶针气缸，位于所述载台的下方与所述抽气口面的上方，用于驱动顶针做升降运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市汇芯通信技术有限公司 一种快速恢复ICP腔体作业环境的装置及方法
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