买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司

摘要：本发明属于贵金属溅射靶材技术领域，具体涉及一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材。本发明采用真空高频感应加热炉进行铱片熔炼，熔炼开始前抽出腔体内气体，并充入保护性气体始终保持7×104Pa‑9×104Pa，避免熔体直接接触空气发生氧化，同时充入保护性气体减少熔体烧损。本发明对定向凝固得到的铸锭进行热处理，严格控制铸锭表面温度小于1450℃，控制铸锭表面活性，保证不易发生氧化，在轧制过程中持续通入保护性气体覆盖铸锭表面，减少铸锭表面与氧气和氮气接触，进而控制最终成品反应层厚度，降低机加工车削量，进而控制损耗率低于1‰。

主权项：1.一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1熔炼：将纯度不低于4N的铱片加入真空高频感应加热炉中，先抽真空到9×10-4Pa-9×10-3Pa，再充入保护性气体至真空度为7×104Pa-9×104Pa，在2500-2700℃温度中熔炼，得到铱熔体；2精炼：采用真空高频感应加热炉持续对铱熔体加热，保持熔体温度为2600-2700℃，并开启电磁搅拌；3定向凝固：使用底部接入冷却水的水冷模具进行铱熔体浇铸，浇铸工艺为：先以5-8cm3s的速率浇铸到水冷模具的15-13处；然后减慢浇铸速度至3-5cm3s，浇铸到水冷模具25-35处；再以1-2cm3s的速率缓慢浇铸，待浇铸完成并冷却后，得到铸锭；4分切：对铱铸锭进行分切得到铱靶坯；5轧制：将分切好的铱靶坯放入气氛热处理炉中，通入还原性气氛，加热到1100-1450℃，保温0.5-2h；然后进行3-6道次轧制，轧制过程中持续通入保护性气体覆盖铱靶坯表面，轧制结束后获得高致密高取向的铱靶材半成品；6还原：将铱靶材半成品放入气氛热处理炉中，通入还原性气氛，加热到300-600℃，保温0.5-1h，随炉冷却后取出；7机加工：将还原后的铱靶材半成品进行机加工得到所述铱溅射靶材，所述铱溅射靶材相较于步骤1中铱片的质量损耗率＜1‰。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 有研亿金新材料有限公司 有研亿金新材料(山东)有限公司 一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材