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申请/专利权人：厦门烨映电子科技有限公司
摘要：本发明提供了一种透镜和预制金属焊料结合的制作方法，包括以下步骤：提供透镜和晶圆的组合体，所述组合体具有相对的透镜正面和晶圆背面，所述晶圆背面划分为金属区域和非金属区域；对所述透镜正面进行保护处理；通过金属沉积工艺在所述晶圆背面的金属区域形成多层金属；解除所述透镜正面的保护处理，并在所述透镜正面形成增透膜；在所述透镜正面和所述晶圆背面的非金属区域形成增透膜，以在透镜上完成预制金属焊料和增透膜溅射工艺，通过优化预制金属焊料和透镜的制作方法，确保各个制作步骤的精确控制，实现透镜与金属焊料的完美结合，从而提高封装的可靠性和稳定性，满足高密度光模块在高温共晶环境下快速键合。
主权项：1.一种透镜和预制金属焊料结合的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：a、提供透镜和晶圆的组合体，所述组合体具有相对的透镜正面和晶圆背面，所述晶圆背面划分为金属区域和非金属区域；b、对所述透镜正面进行保护处理；c、通过金属沉积工艺在所述晶圆背面的金属区域形成多层金属；d、在所述晶圆背面的非金属区域形成增透膜，e、解除所述透镜正面的保护处理，并在所述透镜正面形成增透膜；所述金属沉积工艺包括：c2、对所述晶圆背面的光刻胶涂层进行曝光和显影，以暴露所述晶圆背面的金属区域；c3、在所述晶圆背面形成金属层，其中，所述金属层位于光刻涂胶层表面以及所述晶圆背面的金属区域；c4、去除所述晶圆背面的非金属区域的金属层和光刻胶涂层，在所述晶圆背面的金属区域预留金属。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门烨映电子科技有限公司 一种透镜和预制金属焊料结合的制作方法
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