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申请/专利权人:重庆理工大学;重庆平伟实业股份有限公司
摘要:本发明涉及一种用于芯片互连的全IMC相Sn‑Bi‑In‑Ag‑Zn高熵低温焊料及其制备方法及其制备方法,属于电子封装材料技术领域。该焊料成分按原子百分比计为25%‑35%的锡、21%‑35%铋、25%‑35%的铟、5%的银及5%‑10%的锌,通过感应熔炼实现焊料的制备。本发明所述的封装用Sn‑Bi‑In‑Ag‑Zn全IMC相高熵低温焊料,所有物相均为IMC相,分别为InSn4‑γ、InBi相及AgZn相,其中InSn4‑γ相类似于固溶体,铋原子在其中高度固溶,具有高混合熵。其熔点90℃,可在较低温度下实现铜‑铜的可靠互连,且低温润湿性能良好。受高熵合金高熵效应及迟滞扩散效应影响界面IMC生长缓慢,在长时间回流后仍能保持薄IMC层及稳定的力学性能,可显著提高焊点可靠性,适用于芯片的高可靠低温互连。
主权项:1.铋、铟、银及锌,成分按原子百分比计为25%-35%的锡、10%-26%铋、25%-35%的铟、5%的银及5%-10%的锌。
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权利要求:
百度查询: 重庆理工大学 重庆平伟实业股份有限公司 一种用于芯片互连的全IMC相Sn-Bi-In-Ag-Zn高熵低温焊料及其制备方法及其制备方法
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