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申请/专利权人：武汉敏声新技术有限公司
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，本申请的体声波谐振器，包括衬底以及设置于衬底上表面的筒状支撑件，筒状支撑件上依次设置有下电极、压电薄膜层以及上电极，下电极和上电极在衬底上的投影均落入压电薄膜层在衬底上的投影内，筒状支撑件围合的区域、下电极、压电薄膜层和上电极在层级方向重叠的区域为有效谐振区域，上电极、下电极均包括高声阻抗和低声阻抗交替设置的多个导电层形成的叠层，上电极和下电极上分别形成有台阶状声反射结构。本申请提供的体声波谐振器及其制备方法，能够有效反射横向波，提高体声波谐振器的Q值。
主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及设置于所述衬底上表面的筒状支撑件，所述筒状支撑件上依次设置有下电极、压电薄膜层以及上电极，所述下电极和所述上电极在所述衬底上的投影均落入所述压电薄膜层在所述衬底上的投影内，所述筒状支撑件围合的区域、所述下电极、所述压电薄膜层和所述上电极在层级方向重叠的区域为有效谐振区域，所述上电极、所述下电极均包括高声阻抗和低声阻抗交替设置的多个导电层形成的叠层，所述上电极和所述下电极上分别形成有台阶状声反射结构；所述台阶状声反射结构的台阶高度与所述导电层的厚度相同,且所述声反射结构穿透叠层中的所有所述导电层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敏声新技术有限公司 一种体声波谐振器及其制备方法
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