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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种提高金属层和通孔层之间的覆盖率的OPC处理方法，包括：输入金属层的原始版图，将原始版图进行线宽放大处理，以得到第一版图；对所述第一版图进行去凸起处理和曲线化处理，以得到第二版图；计算所述第二版图和通孔层之间的覆盖率，根据所述覆盖率将所述第二版图分为多个区域；选取出所述第二版图的每个区域对应的所述第一版图中与所述通孔层之间的距离为设定值的凸角，对每个凸角的边进行不同幅度的扩边处理；合并所述第一版图和扩边处理后的所述第一版图，以得到第三版图；若所述第三版图和通孔层之间的覆盖率达标，则输出第三版图。第三版图提高了金属层和通孔层之间的覆盖率，同时不会缩小金属线之间的间距的工艺窗口。
主权项：1.一种提高金属层和通孔层之间的覆盖率的OPC处理方法，其特征在于，包括：S11：输入金属层的原始版图，将所述原始版图进行线宽放大处理，以得到第一版图；S12：对所述第一版图进行去凸起处理和曲线化处理，以得到第二版图；S13：计算所述第二版图和通孔层之间的覆盖率，根据所述覆盖率将所述第二版图分为多个区域；S14：选取出所述第二版图的每个区域对应的所述第一版图中与所述通孔层之间的距离为设定值的凸角，对每个凸角的边进行不同幅度的扩边处理；S15：合并所述第一版图和扩边处理后的所述第一版图，以得到第三版图；S16：若所述第三版图和通孔层之间的覆盖率达标，则输出第三版图；多个区域包括：第一区域、第二区域和第三区域；所述第一区域和通孔层之间的覆盖率小于80%；所述第二区域和通孔层之间的覆盖率为80%~90%；所述第三区域和通孔层之间第三区域和通孔层之间的覆盖率为90%~95%；选取出所述第二版图的每个区域对应的所述第一版图中与所述通孔层之间的距离为设定值的凸角，对每个凸角的边进行不同幅度的扩边处理的方法包括：选取第一区域对应的所述第一版图与通孔层距离为设定值的凸角，对凸角的边进行第一幅度的扩边处理；选取第二区域对应的所述第一版图与通孔层距离为设定值的凸角，对凸角的边进行第二幅度的扩边处理；选取第三区域对应的所述第一版图与通孔层距离为设定值的凸角，对凸角的边进行第三幅度的扩边处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 提高金属层和通孔层之间的覆盖率的OPC处理方法
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