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申请/专利权人：苏州雨竹机电有限公司
摘要：本发明为一种具串联式冷却室的多流道气体喷射器，包括喷射壳体内部环设有多层冷却室，每一层冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室，每一层冷却室内还分别设有多条排气管，且排气管的开口外露于喷射壳体外。本发明可令每一排气管浸泡于冷却液中，达到整体排气管控温的效果，且排气管突出于串联式冷却室的多流道气体喷射器底部，搭配晶座susceptor的内凹结构，能有效扫除晶圆边缘的粉尘及沉积物，提升产品制造良率。
主权项：1.一种具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，包括：喷射壳体，所述喷射壳体内部环设有多层冷却室，每一所述冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室；以及多条排气管，设置在每一所述冷却室内，且所述排气管的开口外露于所述喷射壳体外；其中，每一所述冷却室的底部还设有气体引流盘，垂直于所述排气管的开口，以引流所述排气管排出的气体，且所述气体引流盘内具有溢流空间，所述溢流空间连通所述冷却室；每一所述冷却室中还设有至少一隔板，以分隔所述冷却室。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州雨竹机电有限公司 具串联式冷却室的多流道气体喷射器
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