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申请/专利权人：中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
摘要：本发明公开了一种有效测试时间长的铂薄片热流传感器的制备及使用方法，涉及热量测量设备及高超声速测试技术领域，包括：传感器底座；基底，其设置在传感器底座上，基底的上、下表面分别设置有同向双螺旋线状结构的测热敏感元件和温度修正元件；两个第一导电膜，其分别与测热敏感元件的两连接端相接；两个第二导电膜，其分别与温度修正元件的两连接端相接；两根第一信号线，其分别与第一导电膜相接；两根第二信号线，其分别与第二导电膜相接。本发明提高了铂薄片热流传感器的结构强度、耐冲刷性和热流测量的可靠性，能实时修正气动加热带来的温度效应，提高长时间热流测试的准确性，拓展了热流传感器的测量时间与应用场景。
主权项：1.一种有效测试时间长的铂薄片热流传感器，其特征在于，包括：传感器底座；基底，其固定设置在所述传感器底座的上表面，所述基底的下表面固定设置有温度修正元件；测热敏感元件，其固定设置在所述基底的上表面；所述温度修正元件和测热敏感元件均为同向双螺旋线状结构；两个第一导电膜，其分别与所述测热敏感元件的两连接端相接；两个第二导电膜，其分别与所述温度修正元件的两连接端相接；两根第一信号线，其分别与所述第一导电膜相接；两根第二信号线，其分别与所述第二导电膜相接；所述测热敏感元件为铂薄片，铂薄片的厚度为1μm~5μm；所述温度修正元件为铂薄片或薄膜热电阻，所述温度修正元件与所述测热敏感元件的同向双螺旋线状结构呈交错排布；测热敏感元件两连接端的径向直线与温度修正元件两连接端的径向直线的夹角为90°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 有效测试时间长的铂薄片热流传感器及其制备和使用方法
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