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申请/专利权人：厦门大学
摘要：本发明公开了一种温度‑压力‑热流三参量的复合微纳传感器及其制备方法，其中，复合微纳传感器包括敏感芯体和包裹在敏感芯体外的封装壳体，敏感芯体的主体光纤与法珀谐振腔串联，法珀谐振腔远离主体光纤的一端形成压力敏感膜片层，通过压力敏感膜片层和法珀谐振腔的配合对压力进行检测，通过同轴热电偶实现对温度的检测，通过温度可反演计算热流大小，实现了同时对多个参数的监测，具有耐高温、抗电磁干扰、重复性误差小等特点。
主权项：1.一种温度-压力-热流三参量的复合微纳传感器，其特征在于，包括敏感芯体和包裹在所述敏感芯体外的封装壳体；所述敏感芯体包括主体光纤、同轴热电偶和端面薄膜层且所述敏感芯体具有相对的连接端和检测端，其中，所述主体光纤在靠近所述检测端的端部制备有法珀谐振腔，所述法珀谐振腔远离所述主体光纤的一端形成压力敏感膜片层，所述压力敏感膜片层感应于压力发生弹性形变使得法珀谐振腔的腔长发生变化；所述同轴热电偶包括沿所述主体光纤的侧壁依次向外设置的负极薄膜层、绝缘层和正极薄膜层以及设置在所述检测端的端面的端面薄膜层，所述端面薄膜层导通所述负极薄膜层和所述正极薄膜层，所述负极薄膜层和所述正极薄膜层分别由两种具有不同热电性能的金属或合金制得，当所述同轴热电偶受热时，所述正极薄膜层和所述负极薄膜层之间产生电势差。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门大学 一种温度-压力-热流三参量的复合微纳传感器及其制备方法
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