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一种吸取PVD载板表面粉尘的装置 

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申请/专利权人:常州捷佳创精密机械有限公司

摘要:本实用新型属于粉尘处理技术领域,具体涉及一种吸取PVD载板表面粉尘的装置,本装置包括:吸取风机,所述吸取风机的顶部设置有吸取出口,所述吸取风机的底部设置有吸取入口;设置在所述吸取风机底部的吸取管道,所述吸取管道为方形管道,所述吸取管道内设置有防尘组件;所述防尘组件包括若干阵列设置的防尘板,所述防尘板的侧壁一体设置有防尘轴,所述防尘轴的两端一体设置有防尘辊,并且相邻的所述防尘板能够贴合所述防尘轴的侧壁;简言之,通过吸取风机能够对吸取管道内形成负压,完成粉尘的吸取;进一步的,通过铰接的防尘板,能够在负压消失时,使防尘板自动落下,阻挡吸取管道的开口端,避免粉尘重新掉落至载板。

主权项:1.一种吸取PVD载板表面粉尘的装置,其特征在于,包括:吸取风机,所述吸取风机的顶部设置有吸取出口,所述吸取风机的底部设置有吸取入口;设置在所述吸取风机底部的吸取管道,所述吸取管道为方形管道,所述吸取管道内设置有防尘组件;所述防尘组件包括若干阵列设置的防尘板,所述防尘板的侧壁一体设置有防尘轴,所述防尘轴的两端一体设置有防尘辊,并且相邻的所述防尘板能够贴合所述防尘轴的侧壁。

全文数据:

权利要求:

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