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申请/专利权人：江苏先导微电子科技有限公司
摘要：一种隔断阀用于不同腔室之间的薄膜穿过的通道隔断，隔断阀包括阀盖、阀体、驱动装置、压杆及可弹性变形胶辊，阀盖与阀体围成腔体，驱动装置设置于阀盖，压杆连接于驱动装置并穿过阀盖，阀体具有相对的且间隔开的两壁体和底壁，两壁体的上端密封连接于阀盖，两壁体的下端密封连接于底壁，两壁体和底壁，通道沿两壁体相对的方向以及沿与两壁体的相对的方向横交的方向延伸且具有在两壁体之间开放的开口，通道用于供薄膜穿过且连通不同的腔室；弹性变形胶辊位于腔体内、连接于压杆的背离驱动装置的一端且在两壁体之间延伸，可弹性变形胶辊用于在将不同腔室隔断时经由开口进入到通道中并压着薄膜在底壁的表面上以封堵通道并将不同的腔室的连通隔断。
主权项：1.一种隔断阀，用于不同腔室之间的薄膜穿过的通道隔断，其特征在于，隔断阀100设置在不同的腔室之间，隔断阀100包括阀盖1、阀体2、驱动装置3、压杆4以及可弹性变形胶辊5，阀盖1与阀体2围成腔体S，驱动装置3设置于阀盖1上，压杆4连接于驱动装置3并穿过阀盖1，阀体2具有相对的且间隔开的两壁体21和底壁22，两壁体21的上端密封连接于阀盖1，两壁体21的下端密封连接于底壁22，两壁体21和底壁22形成通道P，通道P沿两壁体21相对的方向以及沿与两壁体21的相对的方向横交的方向延伸且具有在两壁体21之间开放的开口O，通道P用于供薄膜200穿过且用于连通不同的腔室；可弹性变形胶辊5位于腔体S内、连接于压杆4的背离驱动装置3的一端且在两壁体21之间延伸，可弹性变形胶辊5用于在将不同腔室隔断时经由开口O进入到通道P中并压着薄膜200在底壁22的表面221上以封堵通道P并将不同的腔室的连通隔断。
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百度查询： 江苏先导微电子科技有限公司 隔断阀
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