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申请/专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种带干燥功能的管路结构，属于半导体清洗技术领域；包括混液槽；供液管路，供液管路连接于混液槽的出液口和入液口之间；三通管件，三通管件的第一端和第二端连接于供液管路上；干燥管路，连接三通管件的第三端。上述技术方案的有益效果是：由于采用以上技术方案，增加了管路干燥的功能，在需要对管路进行拆卸时，尽可能减少管路内化学液体的存量，避免施工人员在施工时直接接触化学液，降低施工时的风险。
主权项：1.一种带干燥功能的管路结构，其特征在于，包括，混液槽21；供液管路2，所述供液管路2连接于所述混液槽21的出液口和入液口之间；三通管件17，所述三通管件17的第一端和第二端连接于所述供液管路2上；干燥管路1，连接所述三通管件17的第三端。
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