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申请/专利权人：浙江师范大学;浙江光电子研究院
摘要：本实用新型涉及222nm波长紫外光源的技术领域，特别涉及一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置。本实用新型提供的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置，包括圆柱形谐振腔外导体和与所述圆柱形谐振腔外导体同轴设置的内导体；所述内导体的顶部连接有准分子灯，在所述圆柱形谐振腔外导体的底部设置有馈电结构；所述馈电结构包括设置在所述圆柱形谐振腔外导体外部的馈电同轴外芯、设置在所述馈电同轴外芯内部的馈电同轴内芯，所述馈电同轴内芯向所述圆柱形谐振腔外导体内部延伸并与其内壁连接。其旨在解决现有技术中制备222nm的波长效率低的技术问题。
主权项：1.一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置，其特征在于：包括圆柱形谐振腔外导体（1）和与所述圆柱形谐振腔外导体（1）同轴设置的内导体（2）；所述内导体（2）的顶部连接有准分子灯（3），在所述圆柱形谐振腔外导体（1）的底部设置有馈电结构；所述馈电结构包括设置在所述圆柱形谐振腔外导体（1）外部的馈电同轴外芯（5）、设置在所述馈电同轴外芯（5）内部的馈电同轴内芯（4），所述馈电同轴内芯（4）向所述圆柱形谐振腔外导体（1）内部延伸并与其内壁连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江师范大学 浙江光电子研究院 一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置
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