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高阶共振的流体发生装置 

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申请/专利权人:常州威图流体科技有限公司

摘要:本发明涉及流体控制技术领域,尤其涉及一种高阶共振的流体发生装置,包括基板、压电片、间隔部以及隔膜,压电片与基板构成致动器,间隔部靠近致动器的一端端部与致动器连接,隔膜连接在间隔部背离致动器的一端,使致动器、槽部及隔膜之间形成腔室;致动器在电信号的激励下振动时将振动能量传递到隔膜,一方面通过致动器振动时带动腔室中的流体产生压力变动,进而促使隔膜产生振动的方式将能量传递到隔膜,更为重要的是通过致动器与隔膜形成的机械耦合的方式将能量直接传递到隔膜,以实现更高的流量输出;在隔膜振动的至少两个波腹位置或波腹位置的邻近区域分别形成有至少一个孔部,使振动能量的利用率更高。

主权项:1.一种高阶次共振的流体发生装置,其特征在于:包括:基板1,在厚度方向上的一侧或两侧表面接合有至少一个压电片2,所述压电片2与所述基板1构成致动器10,所述致动器10在厚度方向上具有相对设置的第一主面10-1和第二主面10-2,所述压电片2在电信号的激励下,促使致动器10发生振动;间隔部3,所述第一主面10-1或和第二主面10-2接合有所述间隔部,所述间隔部3靠近致动器10的一端端部与致动器10连接,且间隔部3与致动器10围成背离致动器10的一端具有开口的槽部3-1;以及隔膜4,固定连接在所述间隔部3背离致动器10的一端,并封盖槽部3-1的开口,使致动器10、槽部3-1及隔膜4之间形成腔室5,在所述隔膜4的与腔室5相对的区域贯穿有连通腔室5的孔部41;所述致动器10在电信号的激励下振动时将振动能量传递到隔膜4,以促使隔膜4产生至少具有两个波腹的高阶次共振模式的振动,在所述隔膜4振动的至少一个波腹位置A或波腹位置A的邻近区域形成有至少一个所述孔部41。

全文数据:

权利要求:

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