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申请/专利权人：合肥中科离子医学技术装备有限公司
摘要：本发明公开了一种等离子体源技术领域的电子回旋共振离子源装置，所述装置包括：微波传输模块、磁场模块和引出模块，其中，所述微波传输模块由微波发生器件、阻抗调配器、双向定向耦合器和波导构成；所述微波发生器件用于产生和发射微波；所述双向定向耦合器用于显示所述微波的功率参数；所述阻抗调配器用于基于所述功率参数反馈调节传输线的阻抗；所述波导用于将所述微波传输到所述磁场模块；所述磁场模块用于在所述微波和磁场共同作用下产生等离子体；所述引出模块用于将所述磁场模块产生的等离子体形成束流并引出等离子体束。采用该装置能够解决无法量化微波能量的问题，可以实时显示微波的功率参数，从而对微波进行精细控制。
主权项：1.一种电子回旋共振离子源装置，其特征在于，所述电子回旋共振离子源装置包括：微波传输模块、磁场模块和引出模块，其中，所述微波传输模块由微波发生器件、阻抗调配器、双向定向耦合器和波导构成；所述微波发生器件用于产生和发射微波；所述双向定向耦合器用于显示所述微波的功率参数；所述阻抗调配器用于基于所述功率参数反馈调节传输线的阻抗；所述波导用于将所述微波传输到所述磁场模块；所述磁场模块用于在所述微波和磁场共同作用下产生等离子体；所述引出模块用于将所述磁场模块产生的等离子体形成束流并引出等离子体束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥中科离子医学技术装备有限公司 电子回旋共振离子源装置
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