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申请/专利权人:杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
摘要:本实用新型涉及往复移动机构技术领域,具体为一种离子源往复移动机构,包括安装座、移动座、支撑块,所述安装座的外侧固定连接有电机,所述电机的输出轴与安装座转动连接,所述电机的输出轴上固定连接有螺杆,所述螺杆与安装座通过轴承连接,所述螺杆的外侧通过螺纹连接有移动座,所述移动座与安装座滑动连接,所述移动座的外侧设置有清理机构。本实用新型通过设置有滑杆、固定板、限位孔等部件,抽出滑杆,将固定板安装在支撑块内,松开滑杆,安装板在弹簧弹力作用下,带动滑杆向固定板方向移动,滑杆卡入限位孔,对固定板进行固定,解决了离子源器固定在支撑块上,不便于对其进行维修的问题。
主权项:1.一种离子源往复移动机构,包括安装座1、移动座4、支撑块6,其特征在于:所述安装座1的外侧固定连接有电机2,所述电机2的输出轴与安装座1转动连接,所述电机2的输出轴上固定连接有螺杆3,所述螺杆3与安装座1通过轴承连接,所述螺杆3的外侧通过螺纹连接有移动座4,所述移动座4与安装座1滑动连接,所述移动座4的外侧设置有清理机构5,所述移动座4的上端固定连接有支撑块6,所述支撑块6上设置有安装机构7,所述支撑块6的上端设置有离子源器8。
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权利要求:
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