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申请/专利权人：新美光(苏州)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及一种液态源物质鼓泡供应装置，包括：第一罐体、鼓泡器和挡板装置。其中，第一罐体具有用于容纳液体的第一腔室，鼓泡器安装在第一腔室底部，用于制造气泡，可以对鼓泡器通入载气，使载气形成气泡携带汽化的前驱体液体上升。挡板装置包括若干安装在第一腔室内且位于鼓泡器上方的挡板，挡板用于在鼓泡器产生的气泡的浮升路径上进行阻挡以干涉气泡在液体内的停留时间。本发明提供的液态源物质鼓泡供应装置，能够通过挡板来延长气泡在前驱体液体内的停留时间，不同气泡浮出液面时的温度相对统一，提升了工艺稳定性。
主权项：1.一种液态源物质鼓泡供应装置，其特征在于，包括：第一罐体（8），具有用于容纳液体的第一腔室（8-1）；鼓泡器（12），安装在所述第一腔室（8-1）底部；挡板装置（10），包括若干安装在所述第一腔室（8-1）内且位于所述鼓泡器（12）上方的挡板，所述挡板用于在所述鼓泡器（12）产生的气泡的浮升路径上进行阻挡以干涉气泡在液体内的停留时间；所述挡板装置（10）还包括挡板传动轴（10-4），所述挡板传动轴（10-4）的一端与所述挡板固定，另一端与所述第一罐体（8）的侧壁可转动连接，所述挡板传动轴（10-4）用于带动所述挡板转动以调整所述挡板的角度，所述挡板的角度不同，所述气泡在液体中的停留时间不同；所述挡板装置（10）还包括加热机构，所述加热机构与所述挡板连接，以通过所述挡板对液体加热；所述挡板包括：若干上层板（10-1），相邻的所述上层板（10-1）之间存在间隙；若干下层板（10-3），所述下层板（10-3）于所述第一腔室（8-1）内所处的高度低于所述上层板（10-1）所处的高度；沿所述气泡的浮升方向，所述下层板（10-3）的投影覆盖所述间隙；所述挡板装置（10）还包括挡板连接杆（10-2），所述挡板连接杆（10-2）的两端分别连接所述上层板（10-1）与所述下层板（10-3），以使所述下层板（10-3）活动时带动所述上层板（10-1）活动，或使所述上层板（10-1）活动时带动所述下层板（10-3）活动。
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