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申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
摘要：本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种能够自动清洗的废液汇集装置，包括汇集盒本体、上盒盖板、清洗管、进液接头、清洗液罐、通断阀门。需要对汇集盒本体的内壁进行清洗时，首先控制外接氮气源开启对清洗液罐输入氮气并进行加压，将清洗液罐中清洗液经过管路压出至通断阀门处；当设备的涂胶单元作业完成时，控制通断阀门开启，清洗液进一步进入清洗管，再从清洗管的各清洗液喷出孔喷出，从而实现在每次涂胶作业完成后自动对汇集盒本体的内壁上残余的光刻胶进行冲洗的功能，减少光刻胶附着，有效避免长期使用后较多的光刻胶堆积而造成的废液汇集盒堵塞及废液存积的现象，结构相对简单且拆装方便，减少维护频率及难度。
主权项：1.一种能够自动清洗的废液汇集装置，其特征在于：包括汇集盒本体1、上盒盖板2、清洗管3、进液接头4、清洗液罐5、通断阀门6；所述汇集盒本体1的底部具有排液口101，所述上盒盖板2设置于所述汇集盒本体1上，所述上盒盖板2上开设有若干个用于连接涂胶机机体的废液管的废液管连接口201，所述清洗管3安装于所述上盒盖板2的下表面上，所述清洗管3上开设有若干个清洗液喷出孔，所述清洗管3上连通有若干个所述进液接头4的一端，各所述进液接头4的另一端分别通过管路与所述通断阀门6的一端连通，所述通断阀门6的另一端通过管路与所述清洗液罐5相连通，所述清洗液罐5与外接氮气源相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种能够自动清洗的废液汇集装置
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