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摘要：本发明提供一种基准装置，涉及半导体技术领域。基准组件包括底托和基准方镜，基准方镜固定在底托上，底托与基座连接；第一弹簧柱塞和第一调整件均与基座连接，第一弹簧柱塞和第一调整件分别与底托在X轴方向上的两侧抵接，第一调整件能够沿X轴方向移动；第二弹簧柱塞和第二调整件均与基座连接，第二弹簧柱塞和第二调整件分别与底托在Y轴方向上的两侧抵接，第二调整件能够沿Y轴方向移动，压紧组件沿Z轴方向延伸，压紧组件穿过基座并与底托螺纹连接。本发明的基准装置中能够解决调整组件对基准方镜施力可能会导致基准方镜的侧面损坏，以及两个调整组件仅能实现对基准方镜在两个方向上的锁定，基准装置对基准方镜的固定的稳定性较差的问题。
主权项：1.一种基准装置，其特征在于，所述基准装置包括基座、基准组件、第一调整组件、第二调整组件和压紧组件，所述基准组件包括底托和基准方镜，所述基准方镜固定在所述底托上，所述底托与所述基座连接；所述第一调整组件包括第一弹簧柱塞和第一调整件，所述第一弹簧柱塞和所述第一调整件均与所述基座连接，所述第一弹簧柱塞和所述第一调整件分别与所述底托在X轴方向上的两侧抵接，所述第一调整件能够沿所述X轴方向移动；所述第二调整组件包括第二弹簧柱塞和第二调整件，所述第二弹簧柱塞和所述第二调整件均与所述基座连接，所述第二弹簧柱塞和所述第二调整件分别与所述底托在Y轴方向上的两侧抵接，所述第二调整件能够沿所述Y轴方向移动；所述压紧组件沿Z轴方向延伸，所述压紧组件穿过所述基座并与所述底托螺纹连接，所述Z轴方向、所述Y轴方向和X轴方向两两垂直。
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百度查询： 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 基准装置
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