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电容薄膜真空计薄膜预紧装置及焊接系统 

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申请/专利权人:苏州迅微纳半导体科技有限公司

摘要:本发明揭示一种电容薄膜真空计薄膜预紧装置,用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片。薄膜预紧装置包括支架、固定件和张紧件。支架呈圆环状,用于承载中心膜片。固定件用于夹持中心膜片,若干固定件沿圆周滑动安装于支架。张紧件安装于支架,若干张紧件沿圆周与若干固定件匹配设置,各张紧件单独相对于支架径向移动并带动对应的固定件径向移动。张紧件相对于支架进行径向移动,同时能带动固定件径向移动,从而给中心膜片产生径向力,实现中心膜片的周向性张紧。此外,本发明还揭示一种焊接系统。

主权项:1.一种电容薄膜真空计薄膜预紧装置,用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片,其特征在于,所述薄膜预紧装置包括:支架,呈圆环状,用于承载所述中心膜片;固定件,用于夹持所述中心膜片,若干所述固定件沿圆周滑动安装于所述支架;张紧件,安装于所述支架,若干所述张紧件沿圆周与若干所述固定件匹配设置,各所述张紧件单独相对于所述支架径向移动并带动对应的所述固定件径向移动。

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