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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种单片晶圆清洗装置的晶圆卡紧盘，驱动盘转动时，通过若干驱动槽作用到所有拨杆上，进而带动所有连杆沿其轴向运动，使所有卡紧柱均能够同时做打开或者收紧动作，从而实现卡紧柱抓紧晶圆。本实用新型的结构仅需一个驱动件就可以同时驱动所有卡紧柱运动，具有结构简单，能够保证多个卡紧柱的同时动作。同时驱动槽与拨杆的配合，使得整个动作机构不容易发生故障。
主权项：1.一种单片晶圆清洗装置的晶圆卡紧盘，其特征在于，包括：盘体（1），所述盘体（1）中间具有中间孔（11），用于安装在转轴上，以在转轴的带动下进行转动，所述盘体（1）包括顶面和安装在顶面底部的底面，顶面和底面中间形成安装空间；支撑杆（2），所述支撑杆（2）设置在盘体（1）顶部，用于支撑晶圆；卡紧柱（3），为若干个，从盘体（1）上的安装孔处伸出，所述卡紧柱（3）包括底部（31），位于底部（31）上的中间段（32），位于顶端的顶段（33），所述顶段（33）设置有凹陷部，所述凹陷部用于卡住晶圆；驱动机构，设置在所述安装空间内，包括驱动盘（41），成型在驱动盘（41）上的与所述卡紧柱（3）数量相同的驱动槽（42），向驱动盘（41）施加复位拉力的第一复位件（43），设置在驱动盘（41）上的与驱动件连接的驱动杆（44），驱动件能够通过驱动杆（44）驱动所述驱动盘（41）旋转，所述驱动槽（42）的一端比另一端更靠近所述驱动盘（41）的中心；卡紧机构（5），所述卡紧机构包括位于所述驱动槽（42）内的拨杆（51），一端连接拨杆（51）、另一端连接卡紧柱（3）底部（31）的连杆（52），固定在盘体（1）上的限制拨杆（51）仅能沿拨杆（51）轴向运动的限位块（53），一端转动连接在所述盘体（1）上的、中间转动连接在连杆（52）上的旋转体（54），用于使所述连杆（52）复位的第二复位件（55）；所述驱动盘（41）旋转时，通过所述驱动槽（42）的槽壁作用拨杆（51），进而带动连杆（52）沿所述连杆（52）运动，从而使所有卡紧柱（3）的顶段（33）相互远离向外倾斜。
全文数据：
权利要求：
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