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申请/专利权人：杭州久铮技术有限公司
摘要：本发明涉及一种使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组及控制方法。本发明包括罗茨真空泵、罗茨泵支撑架、机架和进气法兰，其特点是：还包括两级干式真空泵、上下泵连接法兰、电控系统、排气消音器、通讯线接头和电源线接头，两级干式真空泵由高压差罗茨真空泵和干式螺杆真空泵组成，该两级干式真空泵安装在机架上，且两级干式真空泵位于罗茨真空泵的正下方；罗茨真空泵的出气口通过上下泵连接法兰和两级干式真空泵的进气口连接，排气消音器和两级干式真空泵的出气口连接；两级干式真空泵中的高压差罗茨真空泵的壳体和干式螺杆真空泵的壳体均设置有冷却水套。本发明的结构设计合理，体积小，能够应对大负载工况，降低罗茨真空泵的整体故障率。
主权项：1.一种使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组，包括罗茨真空泵（1）、罗茨泵支撑架（4）、机架（6）和进气法兰（7），所述罗茨真空泵（1）通过罗茨泵支撑架（4）固定在机架（6）上，所述进气法兰（7）安装在罗茨真空泵（1）的进气口，其特征在于：还包括两级干式真空泵（2）、上下泵连接法兰（3）、电控系统（5）、排气消音器（8）、冷却水进水接头（11）、冷却水回水接头（12）、通讯线接头（13）和电源线接头（14），所述两级干式真空泵（2）由高压差罗茨真空泵和干式螺杆真空泵组成，该两级干式真空泵（2）安装在机架（6）上，且所述两级干式真空泵（2）位于罗茨真空泵（1）的正下方；所述罗茨真空泵（1）的出气口通过上下泵连接法兰（3）和两级干式真空泵（2）的进气口连接，所述排气消音器（8）和两级干式真空泵（2）的出气口连接；所述两级干式真空泵（2）中的高压差罗茨真空泵的壳体和干式螺杆真空泵的壳体均设置有冷却水套，所述冷却水进水接头（11）和冷却水回水接头（12）通过冷却水管与冷却水套连接；所述电控系统（5）、通讯线接头（13）和电源线接头（14）均安装在机架（6）上，该电控系统（5）、通讯线接头（13）和电源线接头（14）均与罗茨真空泵（1）和两级干式真空泵（2）连接。
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权利要求：
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