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摘要：本发明公开了用于转移微装置的方法。该方法涉及通过支柱层将微装置耦接到供体基底、对准该微装置、粘结该微装置以及利用各种方案破坏该支柱层。本发明还公开了结构内的支柱的各种构造，诸如边缘和浮动层。此外，该方法还公开了纳米支柱的使用和形成以实现微装置的转移。
主权项：1.一种用于转移微装置的方法，所述方法包括：通过支柱层将微装置耦接到供体基底；将所述微装置与系统基底对准；将所述微装置与所述系统基底粘结；利用所述供体基底破坏所述支柱层；以及将所述微装置转移到所述系统基底。
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