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申请/专利权人：苏州益腾电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种微焦点X射线的产生装置，该产生装置中电子注入模块用于向加速器模块注入第一电子束。谐振腔本体用于接收并加速第一电子束，偏转磁铁用于偏转第一电子束在谐振腔本体中的束流轨迹，经加速器模块后第一电子束调整为第二电子束。聚焦模块用于对第一电子束和第二电子束进行聚焦。目标靶模块位于第二电子束的运动路径中，用于基于第二电子束的激发产生微焦点X射线，微焦点X射线的聚焦尺寸L满足：L≤100μm。如此，通过谐振腔本体以及多级偏转磁铁形成的第二电子束的束流能量以及束流平均功率均较高，并在经过聚焦模块聚焦后可以实现微米级分辨率，可以实现大型精密设备内部细微结构和气孔的快速和无损检测。

主权项：1.一种微焦点X射线的产生装置，其特征在于，包括：电子注入模块、加速器模块、聚焦模块和目标靶模块；所述电子注入模块用于向所述加速器模块注入第一电子束；所述加速器模块包括谐振腔本体和至少两级偏转磁铁，所述偏转磁铁围绕所述谐振腔本体设置；所述谐振腔本体用于接收并加速所述第一电子束，所述偏转磁铁用于偏转所述第一电子束在所述谐振腔本体中的束流轨迹，所述束流轨迹包括非线性轨迹；经所述加速器模块后所述第一电子束调整为第二电子束，所述第二电子束的能量大于第一电子束的能量；所述聚焦模块位于所述电子注入模块和所述目标靶模块之间，用于对所述第一电子束和所述第二电子束进行聚焦；所述目标靶模块位于所述第二电子束的运动路径中，用于基于所述第二电子束的激发产生微焦点X射线，所述微焦点X射线的聚焦尺寸L满足：L≤100μm；所述加速器模块还包括功率源单元、检测单元、调谐单元以及处理单元；所述功率源单元用于向所述谐振腔本体馈入微波功率；所述检测单元用于检测所述谐振腔本体中电磁场的相位信息；所述处理单元分别与所述检测单元和所述调谐单元电连接，用于根据所述检测单元反馈的第一相位信息和第二相位信息输出控制信息至所述调谐单元，以控制所述调谐单元调节所述谐振腔本体的谐振频率；其中，所述第一相位信息为所述检测单元在所述功率源单元馈入所述微波功率时检测到的相位信息；所述第二相位信息为所述检测单元在所述功率源单元馈入所述微波功率预设时间后检测到的相位信息；所述谐振腔本体包括环状壳体；所述检测单元包括微波探针，所述微波探针设置于所述环状壳体内，用于检测所述第一相位信息和所述第二相位信息；所述调谐单元包括多组调谐器组和多个调谐电机；每组调谐器组包括多个调谐器，所述调谐器均匀设置在所述环状壳体的内环壁的外侧；所述调谐电机与所述调谐器组对应连接，用于控制与其对应连接的所述调谐器组内的多个调谐器动作；所述处理单元分别与所述微波探针和多个所述调谐电机电连接，用于根据所述第一相位信息和所述第二相位信息确定相位偏移信息，并根据所述相位偏移信息以及第一预设对应关系生成谐振频率偏移信息；在所述谐振频率偏移信息大于预设值时，根据所述谐振频率偏移信息以及第二预设对应关系输出第一控制信息至所述调谐电机，以使所述调谐电机控制所述调谐器拉伸所述环状壳体的内环壁，减小所述内环壁的直径，减小所述谐振腔本体的谐振频率；在所述谐振频率偏移信息小于所述预设值时，根据所述谐振频率偏移信息以及所述第二预设对应关系输出第二控制信息至所述调谐电机，以使所述调谐电机控制所述调谐器挤压所述环状壳体的内环壁，增大所述内环壁的直径，增大所述谐振腔本体的谐振频率。

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