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申请/专利权人：南京大学
摘要：本发明公开了一种单读取管多感光管的复合介质栅光敏探测器，属于集成电路领域。所述复合介质栅光敏探测器具有单读取管多感光管的结构，针对该新型结构，本申请特别设计了复合介质栅的结构，使得多个感光晶体管共用一个读取晶体管，从而节省读取晶体管所占的面积，提高了感光晶体管的占空比；且由于多个感光晶体管共用一个读取晶体管，因此读出时可选择多个感光晶体管逐一读出或者多个感光晶体管合并读出，前者适合用于高分辨率的场景需求，后者由于多个像素做平均，有利于减小噪声，适合用于高信噪比的场景需求。
主权项：1.一种单读取管多感光管的复合介质栅光敏探测器，其特征在于，所述复合介质栅光敏探测器包括形成在同一衬底上的一个读取晶体管与n个感光晶体管，且读取晶体管与感光晶体管直接以及n个感光晶体管之间通过浅槽隔离隔开；一个读取晶体管与n个感光晶体管共用一个复合介质栅；所述复合介质栅由下至上依次包括底层介质层、底层控制层、中间介质层、电荷耦合层、顶层介质层和顶层控制层；其中，感光晶体管上方的底层控制层一部分被中间介质层、电荷耦合层、顶层介质层和顶层控制层覆盖，一部分暴露在外界用于连接外部端口；所述读取晶体管的底层介质层上方直接为电荷耦合层，不设有中间介质层；所述读取晶体管受到顶层控制层和电荷耦合层电势的控制，而电荷耦合层的电势受到每个感光晶体管上方的底层控制层的电势的影响，从而使得读取晶体管能够被每个感光晶体管调控。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京大学 一种单读取管多感光管的复合介质栅光敏探测器
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