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申请/专利权人：深圳市容大感光科技股份有限公司;惠州市容大感光科技有限公司
摘要：本发明涉及一种负性感光树脂组合物，其包含以下组分：A碱可溶树脂，其包含具有不同分子量的至少两种酚醛清漆树脂，100重量份；B光致产酸剂，0.1‑5、优选0.5‑4、更优选0.5‑3.5重量份；C光稳定剂，0.1‑20、优选0.5‑10；D交联剂，1‑45、优选2‑35、更优选3‑30重量份；E溶剂，100‑600、优选110‑550、更优选为120‑500重量份；F碱性化合物，0.2‑2、优选为0.3‑1.8、更优选0.4‑1.6重量份；和G任选地添加剂，0.01‑20、优选为0.1‑15重量份，更优选0.1‑10重量份；其中组分B‑G的量均基于100重量份的碱可溶树脂A计。还涉及使用该树脂组合物进行光刻胶图形化的方法以及负性感光性树脂组合物用于半导体制备中金属图形化的用途。该树脂组合物能够适应不同的曝光波长，并且能够通过控制曝光量进而控制光刻胶显影后的底切形貌。
主权项：1.一种负性感光性树脂组合物，其包括：A碱可溶树脂，其包含具有不同分子量的至少两种酚醛清漆树脂，100重量份；B光致产酸剂，0.1-5重量份；C光稳定剂，0.1-20重量份；D交联剂，1-45重量份；E溶剂，100-600重量份；F碱性化合物，0.2-2重量份；和G任选地添加剂，0.01-20重量份；其中组分B-G的量均基于100重量份的碱可溶树脂A计,其中所述光稳定剂选自酮类光稳定剂和三氮唑类光稳定剂，其中所述至少两种酚醛清漆树脂为A-1和A-2，并且均具有式1的结构， 其中，m:n为1:9至9:1，其中A-1的重均分子量为1,000至100,000，分子量分布为1.0至8.0；A-2的重均分子量为1,000至15,000，分子量分布为1.0至4.0，且A-1的重均分子量大于A-2的重均分子量。
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权利要求：
百度查询： 深圳市容大感光科技股份有限公司 惠州市容大感光科技有限公司 一种负性感光性树脂组合物、其图形化的方法及其用途
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