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一种主副栅线同步图形化的装置 

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申请/专利权人:帝尔激光科技(无锡)有限公司

摘要:本申请提出一种主副栅线同步图形化的装置,包括至少一个激光器、主栅光路、副栅光路、第一光路切换组件和扫描组件;主栅光路包括整形组件,激光器产生的激光光束进入主栅光路形成主栅光束;副栅光路包括扩束镜,激光器产生的激光光束进入副栅光路形成副栅光束;通过第一光路切换组件使得主栅光束或副栅光束进入扫描组件内,最终得到匀化方形光斑或高斯光斑。本申请主栅光束和副栅光束共用一个扫描组件,可兼容主栅图形和副栅图形的加工工艺需求,实现主副栅线同步图形化,并且本申请可简化整个装置的硬件结构,提高激光加工精度,且工艺简单可控。

主权项:1.一种主副栅线同步图形化的装置,其特征在于,包括至少一个激光器1、主栅光路2、副栅光路3、第一光路切换组件4和扫描组件5;所述主栅光路2包括整形组件21,所述激光器1产生的激光光束进入所述主栅光路2形成主栅光束22;所述副栅光路3包括扩束镜31,所述激光器1产生的激光光束进入所述副栅光路3形成副栅光束32;通过所述第一光路切换组件4使得所述主栅光束22或所述副栅光束32进入所述扫描组件5内,所述主栅光束22进入所述扫描组件5后在焦平面上形成匀化方形光斑,所述副栅光束32进入所述扫描组件5后在焦平面上形成高斯光斑。

全文数据:

权利要求:

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