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申请/专利权人：常州九天未来微电子有限公司

摘要：本发明涉及半导体封装技术领域，具体涉及半导体封装真空焊接炉高效热交换装置及方法，包括机座机座一端开设有热源进口，另一端开设有冷源出口，机座顶端安装有冷却水接头以及循环水接头，机座内设置有一端与冷却水接头连通另一端与循环水接头连通的换热管，进风过滤组件包括安装在机座外侧壁且输出端与热源进口连通的进风风机，还包括安装在进风风机远离机座一侧的过滤座，过滤座前后两端贯穿开设有与进风风机输入端连通的风道，通过改进冷却系统设计和优化控制策略，显著降低了温度控制失误的风险，同时，通过增强系统冗余性和实施定期维护，进一步提高了系统的可靠性和稳定性，该发明对于提高半导体封装质量和器件性能具有重要意义。

主权项：1.半导体封装真空焊接炉高效热交换装置，包括机座（1），所述机座（1）一端开设有热源进口，另一端开设有冷源出口（15），所述机座（1）顶端安装有冷却水接头（11）以及循环水接头（12），所述机座（1）内设置有一端与冷却水接头（11）连通另一端与循环水接头（12）连通的换热管（16），其特征在于，还包括：进风过滤组件，包括安装在机座（1）外侧壁且输出端与热源进口连通的进风风机（3），还包括安装在进风风机（3）远离机座（1）一侧的过滤座（2），所述过滤座（2）前后两端贯穿开设有与进风风机（3）输入端连通的风道（21），所述过滤座（2）上下两端贯穿开设有与风道（21）相连通的插孔（22），所述插孔（22）内相适配的插接有可以升降滑动的过滤网（24），所述过滤座（2）的顶端和底端均安装气泵（29），所述气泵（29）的输出端均连通有与过滤网（24）位置相对的喷嘴（210）；安全保护系统，包括安装在机座（1）外侧的控制器（4），还包括安装在冷却水接头（11）内的第一温度传感器（41）和第一流量传感器（42），还包括安装在循环水接头（12）内的第二温度传感器（44）和第二流量传感器（45），还包括安装在冷却水接头（11）与换热管（16）连通处的第一电磁阀（43），还包括安装在循环水接头（12）与换热管（16）连通处的第二电磁阀（46），还包括安装在冷源出口（15）处的第三电磁阀（47），还包括安装在热源进口处的第四电磁阀（48），还包括安装在换热管（16）内多个弯折处的附加温度传感器（49）；高效换热组件，包括安装在机座（1）两端的转向风机（5），所述转向风机（5）的输入端和输出端均位于机座（1）内，且呈相互垂直状态分布；所述过滤座（2）远离机座（1）一侧设置有安装法兰（13），所述安装法兰（13）和风道（21）之间连通有软管（14），所述安装法兰（13）连通有真空焊接炉；所述插孔（22）内插接有安装框（23），所述过滤网（24）嵌入安装在安装框（23）内，且所述过滤网（24）与安装框（23）两侧表面平齐，所述安装框（23）的两相对外侧壁均安装有齿条（25）；所述过滤座（2）两侧均固定安装有固定块（26），两个所述固定块（26）同向一侧均固定安装电机（27），所述电机（27）输出端均安装有嵌入转动安装在固定块（26）内的齿轮（28），两个所述齿轮（28）与对应的齿条（25）均啮合安装；所述控制器（4）与进风风机（3）、第一温度传感器（41）、第一流量传感器（42）、第二温度传感器（44）、第二流量传感器（45）、第一电磁阀（43）、第二电磁阀（46）、第三电磁阀（47）、第四电磁阀（48）以及多个附加温度传感器（49）均电性连接；所述转向风机（5）设置有四个，且四个所述转向风机（5）的输入端均连通有进风罩（51），四个所述转向风机（5）的输出端均连通有排风罩（52），所述进风罩（51）和排风罩（52）均位于机座（1）内腔中，且呈相互垂直状态分布，通过四个所述进风罩（51）和四个排风罩（52）配合对应转向风机（5）在机座（1）内形成加速气流运动的环形流通气道；半导体封装真空焊接炉高效热交换装置的热交换方法包括进风过滤、冷却水循环流通、高效换热以及安全监测四个步骤；所述进风过滤是指，同步启动两个电机（27），进而带动对应齿轮（28）旋转，从而啮合带动对应齿条（25）升降滑动，进而带动安装框（23）以及过滤网（24）同步升降滑动，使得过滤网（24）表面原本被堵塞的网孔从插孔（22）中伸出，此时启动对应的气泵（29），通过喷嘴（210）从过滤网（24）远离真空焊接炉一侧向另一侧喷吹，将原本附着在过滤网（24）网孔内的颗粒物吹出，使得过滤网（24）在无需拆卸下来的前提下，就可以完成自动清洁；所述冷却水循环流通是指，通过冷却水接头（11）与外部冷却水源相连通，通过循环水接头（12）与外部冷却水源相连通，通过外部冷却水源经过冷却水接头（11）向换热管（16）内注入冷却水，冷却水填充满换热管（16）后，经过循环水接头（12）回流至冷却水源处，形成冷却水循环系统；所述高效换热是指，当换热管（16）填充满冷却水形成冷却水循环系统后，经过冷却的热源进入到机座（1）内，此时通过控制器（4）关闭第三电磁阀（47）和第四电磁阀（48），使得机座（1）内形成封闭空间，此时启动对角的两处转向风机（5），转向风机（5）通过进风罩（51）抽取机座（1）内空气，并通过排风罩（52）排出，引导机座（1）内热源气流形成环形流通气道，加速与机座（1）内换热管（16）表面的接触频率，从而提高对换热管（16）内冷却水的换热效果，也充分利用机座（1）内的热源气流，避免热源气流未被充分换热的前提下，就从冷源出口（15）排出形成浪费；所述安全监测是指通过第一温度传感器（41）、第二温度传感器（44）以及多个附加温度传感器（49）分别监测，冷却水进水口处、循环水出水口处，以及换热管（16）内弯折处温度，通过第一流量传感器（42）以及第二流量传感器（45）分别监测冷却水进口处以及循环水出口处冷却水与循环水流量，当第一温度传感器（41）、第二温度传感器（44）、附加温度传感器（49）、第一流量传感器（42）以及第二流量传感器（45）监测出异常数据后，将反馈给控制器（4），从而进行温度超限报警、自动切断加热电源、紧急停机，以防止温度控制失误导致的严重后果。

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