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申请/专利权人:三星显示有限公司
摘要:提供了发光元件、其制造方法和包括该发光元件的显示装置。用于制造发光元件的方法包括以下步骤:制备下基底,下基底包括基底和形成在基底上的缓冲材料层;形成分离层,分离层设置在下基底上并且包括至少一个石墨烯层;在分离层上层叠第一导电型半导体层、活性材料层和第二导电型半导体层以形成元件层叠件;在竖直方向上蚀刻元件层叠件和分离层来形成元件棒;以及将元件棒与下基底分离来形成发光元件。
主权项:1.一种发光元件的制造方法,所述制造方法包括:制备下基底,所述下基底包括基体基底和形成在所述基体基底上的缓冲材料层;形成分离层,所述分离层设置在所述下基底上并且包括至少一个石墨烯层;通过在所述分离层上沉积第一导电型半导体层、活性材料层和第二导电型半导体层来形成元件沉积结构;通过在竖直方向上蚀刻所述元件沉积结构和所述分离层来形成元件棒;以及将所述元件棒与所述下基底分离来形成发光元件,其中,在所述元件棒的形成中,所述分离层被蚀刻并且被图案化,并且将所述元件棒与所述下基底分离的步骤包括:将形成在所述分离层上的所述元件棒与所述下基底一起浸入到分离溶液中;以及通过将振动施加到所述分离溶液中将所述元件棒与所述下基底分离。
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权利要求:
百度查询: 三星显示有限公司 发光元件及其制造方法和包括该发光元件的显示装置
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