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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供能够抑制载置被检查体的载置台因载荷而产生的移位的载置台和检查装置。提供如下载置台：该载置台载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，该载置台包括：第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。
主权项：1.一种载置台，其载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，该载置台包括：第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间，其中，该载置台还包括反射部，该反射部设于所述透过构件和所述第2冷却板的侧部，用于向所述透过构件和所述第2冷却板的内部反射所述加热源所输出的光，其中，所述第2冷却板被配置为由所述第2制冷剂流路冷却以冷却所述被检查体，或由所述加热源加热以加热所述被检查体，所述第2制冷剂流路包括多个槽，所述多个槽形成为从所述第2冷却板的下表面向上侧凹陷并且由所述透过构件从下表面侧覆盖，所述多个槽彼此连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 载置台和检查装置
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