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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明涉及一种提升激光均匀性的装置以及方法，该装置包括：斑纹衰减模块，斑纹衰减模块包括多个透射微结构，多个透射微结构按照预设排布规则排在基板上；透射结构包括相对设置的入射面和出射面，入射面面对激光处理模块，其中，任意两相邻透射微结构的折射率均不相同，且满足预设条件，预设条件为：激光从入射面入射从出射面射出一透射子光束，任意两个相邻的透射微结构产生的透射子光束之间的光程差大于入射激光的相干长度。上述装置实对激光相干性所导致的斑纹图案具有很好的抑制效果。
主权项：1.一种提升激光均匀性的装置，其特征在于，包括：斑纹衰减模块，斑纹衰减模块包括多个透射微结构，所述多个透射微结构按照预设排布规则排在基板上；所述透射结构包括相对设置的入射面和出射面，所述入射面面对所述激光处理模块，其中，任意两相邻透射微结构的折射率均不相同，且满足预设条件，所述预设条件为：激光从所述入射面入射从所述出射面射出一透射子光束，任意两个相邻的所述透射微结构产生的透射子光束之间的光程差大于入射激光的相干长度；所述基板上至少两个相邻的所述透射微结构的厚度不相同；多个透射微结构在基板上呈环状分布，透射微结构的入射面和出射面的表面尺寸均大于激光的光斑尺寸；斑纹衰减单元还包括电机，电机通过旋转轴与基板相连；所有透射微结构呈环状分布在一基板上，基板中心连接电机，通过电机带动基板旋转；通过电机带动转轮旋转，不同时刻的入射激光束穿过不同的透射微结构之后继续向后传输；不同透射微结构都会产生一束透射子光束，所有透射子光束统称为透射光束；转轮的转速与CCD或人眼积分时间相匹配，单位积分时间对应转轮旋转一圈，下一个积分时间开始时转轮开始新的循环；入射至所述透射微结构的激光垂直于所述入射面或与所述入射面的夹角不大于预设值。
全文数据：
权利要求：
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