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一种封闭性好的酸洗设备 

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申请/专利权人:苏州中砥半导体材料有限公司

摘要:本实用新型公开了一种封闭性好的酸洗设备,包括酸洗箱、密封组件和酸洗组件,所述酸洗箱的上端面铰接有密封盖,且所述密封组件位于所述密封盖的边缘处,所述密封组件包括第一挡板、第二挡板和夹层,且所述酸洗箱的上端焊接有所述第一挡板,并且所述第一挡板的下方固定有所述第二挡板,所述第一挡板和所述第二挡板之间设置有所述夹层,且所述酸洗组件位于所述酸洗箱的内腔底部,所述支撑板的下方贯穿设置有所述螺纹杆,且所述螺纹杆的右端连接有所述伺服电机,并且所述螺纹杆的后端平行设置有所述支撑杆。能够避免酸洗机内的溶液在使用时通常会飞溅到盖子和槽体之间的间隙处,从而避免时间久后边缘处被腐蚀,有利于提高设备的密封性。

主权项:1.一种封闭性好的酸洗设备,包括酸洗箱1、密封组件3和酸洗组件5,其特征在于,所述酸洗箱1的上端面铰接有密封盖2,且所述密封组件3位于所述密封盖2的边缘处,所述密封组件3包括第一挡板301、第二挡板302和夹层303,且所述酸洗箱1的上端焊接有所述第一挡板301,并且所述第一挡板301的下方固定有所述第二挡板302,所述第一挡板301和所述第二挡板302之间设置有所述夹层303,且所述酸洗组件5位于所述酸洗箱1的内腔底部,所述酸洗组件5包括螺纹杆501、支撑板502、伺服电机503和支撑杆504,且所述密封组件3的下方设置有所述支撑板502,所述支撑板502的下方贯穿设置有所述螺纹杆501,且所述螺纹杆501的右端连接有所述伺服电机503,并且所述螺纹杆501的后端平行设置有所述支撑杆504。

全文数据:

权利要求:

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